离子源

SEM/FIB双束系统及其截面加工技术

扫描电子显微镜（SEM）与聚焦离子束（FIB）结合形成的双束系统，是现代微纳加工与材料分析领域中一种高度集成的多功能仪器平台。该系统通过在同一真空腔体内集成电子束与离子束两套独立的成像与加工系统，实现了对样品从微观观测到纳米级加工的全流程操控。

在纳米科技蓬勃发展的浪潮中，纳米尺度制造业正以前所未有的速度崛起，而纳米加工技术则是这一领域的心脏。聚焦离子束（Focused Ion Beam，FIB）作为纳米加工的代表性方法，凭借其卓越的性能和广泛的应用前景，成为了纳米加工领域的明星技术。